Contenu pédagogique :

• Principe de l'ellipsométrie, ellipsométrie par extinction. Détermination des angles ellipsométriques d'un matériau Polarisation de la lumière, identification des axes rapide et lent d'une lame à retard de phase.
• Mesure des indices d'un substrat de silicium (n et k).Mesure de l'indice (n) et de l'épaisseur (e) d'une monocouche de SiO2 sur substrat de silicium. Mesure des indices d'un métal d'Aluminium (n et k), Mesure des indices du verre (n et k).
• Etude des conséquences d'une variation de l'angle d'incidence sur les indices d'un échantillon. Etude de l'effet d'un changement de longueur d'onde sur n et e.
• Mise en évidence de l'influence d'une erreur de mesure sur les valeurs de n, k et e.